雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機(jī)表面處理儀

簡(jiǎn)要描述：廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)PDC200/PDC210/PDC510，均勻性高的電極構(gòu)造，操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器，適用于研究開(kāi)發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機(jī)表面處理儀

產(chǎn)品型號(hào)：PDC200/PDC210/PDC510
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-08-07
訪問(wèn) 量：1616

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等離子表面處理儀

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詳細(xì)介紹

品牌	YAMATO/日本雅馬拓	產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子/電池,電氣

廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)PDC200/PDC210/PDC510，均勻性高的電極構(gòu)造，操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器，適用于研究開(kāi)發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機(jī)表面處理儀

儀器特點(diǎn)：

DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）。

RIE模式。

均勻性高的電極構(gòu)造。

操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器。

型號(hào)	PDC200	PDC210		PDC510
等離子模式	RIE（DP模式選配）
電極構(gòu)造	平行平板（固定）
高頻輸出	Max300W	Max500W
頻率	13.56MHz
反應(yīng)腔尺寸	W400xD250Lx150mm			W500xD300Lx200mm
電極尺寸	W250xD170mm			W400xD200mm
反應(yīng)室材質(zhì)	2系統(tǒng)（Ar、O2）
填充氣體	N2或干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制	流量計(jì)	聚合控制器
真空泵	另行選配	油泵（約345L/分）標(biāo)配		油泵（500L/分）標(biāo)配
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)
外形尺寸	W540xD600xH600mm		W540xD600xH600mm	W700xD700xH1285mm
重量	約100KG		約105KG	約180KG
電源	單相AC100V 10A		三相AC200V 6A	三相AC200V 8A

雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)PDC200/PDC210/PDC510信息由廣州金程科學(xué)儀器有限公司為您提供。雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機(jī)表面處理儀

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